活動日期
2023/04/14(五),09:00-12:00（北+南+視）
活動資訊
■語言：日文演說，中文逐步口譯。
■內容：
本主題說明EUV微影技術中，預期作爲下一代亞10nmHP用(Angstrom埃節點用) 的含金屬光阻劑之反應機制和其課題。
一、下一代光阻劑的課題
二、光阻圖像形成
三、含金屬光阻劑
四、光吸收和光電子發射
五、二次電子與減速過程及熱化
六、熱化電子之還原作用
七、放射線化學反應
八、溶解度變化之機制
■主講人
日本產業專家 / 現任大阪大學產科所 教授
■地點規劃：
✓台北會議室（翻譯員）
✓台南會議室
✓線上視訊
活動辦法
■報名洽詢：(02)2536-4647#10張小姐(電子郵箱sumken@sum-ken.com)
■優惠方案
-線上：5,500、3,200、2,800元/1、3、5人
-實體：3,600、3,200、2,800元/1、3、5人
※ 請於開課日期【前7天完成繳費】，中國信託銀行(822)城北分行 657-540116548三建資訊有限公司※
目前不在報名受理期間