【日本專家】塗布膜乾燥過程解析・考察・了解其本質,以及塗布膜設計與針對不良、缺陷的應用

活動日期
2023/07/13+14(四)(五),09:30-16:30(北+南)

活動資訊
■語言:日文演說,中文逐步口譯。
■內容
塗布膜的乾燥構造解析是一門會牽涉到各種工程學等領域的重要議題。對於乾燥塗布膜,都要求乾燥之後膜的厚度要一致等條件。但大多時候,都會發現厚度分布不均,之後才透過實作經驗了解到根據不同的乾燥條件,膜的厚度分布也會有所變化。為了達到乾燥成果的膜厚分布一致,首先必須分析塗布膜乾燥過程的機構組成,透過分析了解如何控制各種類的施作方式,讓乾燥之後的「膜厚」盡可能地接近一致。若想讓成果的膜品質均一也是同樣的道理。另外,在克服乾燥後的各種不良、缺陷時,也是需要同樣的過程。
本課程,先由解析塗布膜乾燥過程來說明機構組成時必須了解的物理知識、觀點切入課程內容,接著基於上述知識來簡易地說明乾燥過程標準化的實作,並透過實際數值模擬狀況,進而理解塗布膜乾燥機構組成的本質。另外根據這些結論,透過物理學觀察各種塗布膜不良的成因。觀察控制膜厚的方法,藉此克服乾燥膜時會產生的不良、缺陷與問題。課程後,希望參與的學員未來在實際操作上能理解各類乾燥的過程,也期許能在課堂上獲得遇到各種乾燥問題時解決問題的靈感。
1.塗布膜的乾燥工程概要與課題
 1.1 所謂的乾燥
  1.1.1 乾燥作用原理
  1.1.2 促進乾燥作用的方法
 1.2 Resist塗布工程範例
  1.2.1 塗布方法
  1.2.2 乾燥方法
 1.3 乾燥後的要求事項
2.液體理論
 2.1 液體基礎理論
  2.1.1 液體內分子的作用力
  2.1.2 從固體中挑出液體的混亂狀態
  2.1.3 從氣體理論來探討液體
 2.2 從液體理論來探討蒸發
 2.3 液體凝聚力的起源
 2.4 導入液體理論模型標準的要點
3.溶液理論
 3.1 溶液基礎理論
  3.1.1 所謂溶液
  3.1.2 平衡狀態溶液的化學位能
  3.1.3 非平衡狀態溶液的化學位能
 3.2 高分子溶液的特徴
 3.3 導入溶液理論模型標準的要點
4.表面・界面理論
 4.1 表面張力
 4.2 界面的浸潤
 4.3 界面的波動
 4.4 表面張力波與弛豫時間 
 4.5 導入表面・界面理論模型標準的要點
5.溶劑(Solvent)蒸發速度理論
 5.1 蒸發速度的算式
6.溶液中溶質・溶劑的動力學
 6.1 擴散方程式
 6.2 流體方程式
 6.3 正在揮發時非平衡狀況下的動力學
  6.3.1 從化學位能導出擴散係數(平衡系)
  6.3.2 從化學位能導出擴散係數(非平衡系)
7.於平坦主機板上塗布高分子溶液的揮發過程
 7.1 瑞利數與馬蘭戈尼數 
 7.2 最簡易的模型標準化
 7.3 改良簡易模型標準   
 7.4 縝密型模型標準
 7.5 數值模擬結果範例
  7.5.1 膜厚分布的時間發展
  7.5.2 乾燥後膜厚分布的乾燥速度依存性
  7.5.3 乾燥後膜厚分布的塗布膜厚依存性
  7.5.4 乾燥後膜厚分布的濃度擴散係數依存性
  7.5.5 乾燥後膜厚分布的溶劑擴散係數依存性
  7.5.6 乾燥後膜厚分+B61布的+B15特性黏度率依存性
  7.5.7 乾燥後膜厚分布的汽化熱依存性
  7.5.8 針對乾燥後膜厚分布高分子溶液特有的蒸汽壓變化效果
  7.5.9 液膜表層與內部乾燥的時間發展差異
8.模擬技術
 8.1 擴散方程式的解法
 8.2 流體方程式的解法
9.根據實作驗證模型
10.模型標準發展
 10.1 3D模型標準
 10.2 若有多種溶質時
 10.3 若有多種溶劑時
 10.4 在具體現象中模型的應用(各式不均勻等)
 10.5 考量馬倫哥尼效應
11.控制膜厚的實際狀況、後續
 11.1 控制各式不均勻的案例 
 11.2 控制尖端凹凸案例1:溫度管理
 11.3 控制尖端凹凸案例2:氣壓管理
 11.4 控制尖端凹凸案例3:濃度管理
12.在各種形狀下的應用
 12.1 於主機板側面塗布的影響 
 12.2 球狀物體上塗布膜的情況
13.關於塗布膜設計需要注意的重點
 
■主講人
日本學界專家 / 現任周南公立大學 教授
 
■地點規劃
✓台北會議室(講師、翻譯員)
✓台南會議室
※辦理方式將視疫情等狀況,滾動式調整授課方式

 

活動辦法
■報名洽詢:(02)2536-4647#10張小姐(電子郵箱sumken@sum-ken.com)
■優惠方案:
原價12,800元/人,政府補助6,000元,學員自付6,800、6,400、6,000元/1、2、3人
※ 請於開課日期【前7天完成繳費】,中國信託銀行(822)城北分行 657-540116548三建資訊有限公司※
 

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