【日本專家】無塵室的靜電對策

活動日期
2024/05/30(四),09:30-16:30（北+南+視）

活動資訊
■語言：日文演說，中文逐步口譯。
■內容：
在半導體、液晶製造、製藥、薄膜製造等無塵室中，由於靜電帶電引起的灰塵吸附、靜電放電而損壞電路圖案等靜電問題導致產品缺陷，已成為一個重大問題。通常，在無塵室中會穿戴「經過防靜電處理的無塵室服裝」來進行靜電防護。但，僅憑此是不夠的，每年仍然發生嚴重的靜電事故。
更為根本的解決方法是，充分了解靜電產生的原理和特性，並能在包括靜電消除器在內的設備上採取適當的對策，這對於無塵室中的靜電防護非常有效。
本課題，首先將講解靜電的基礎知識，並透過實際案例來解釋無塵室中會出現的靜電干擾情況。另外，為了正確選擇對靜電防護很重要的靜電消除器，除講解靜電原理外，也將說明靜電消除器的種類和特性、適當的選擇方法以及除靜電性能評估方法。課程還將提供有關透過接地進行靜電防護的指導，以應對無法使用靜電消除器的情況，例如處理易燃危險材料的防爆設施。
 
◆目次大綱
一、前言簡介
二、靜電基礎知識
2.1 電動與靜電
2.2 物質具有電能
2.3 靜電的產生方式
(1) 靜電生成
(2) 靜電生成機制
(3) 生成原因
(4) 靜電感應
(5) 摩擦序列表 (Triboelectric Series)
三、半導體、液晶製造、製藥等無塵室的靜電干擾
3.1 靜電帶電的實際狀態
3.2 靜電干擾
3.2.1 靜電帶電引起的靜電干擾-懸浮粒子污染
3.2.2 靜電放電引起的靜電干擾-靜電損壞
四、半導體、液晶製造、製藥等無塵室的靜電對策
4.1 靜電防護方法
4.1.1 以接地消散靜電的方法（用於防爆設施等）
(1) 評估電荷量和帶電性的主要物理量
(2) 測量裝置及測量方法
(3) 靜電對策及評估指標（基準）
．防止導體產生靜電
．防止作業員產生靜電
．使作業地板導電
．防止非導體產生靜電
(4) 防爆設施各工序的靜電防護
4.2 利用靜電消除器產生的空氣離子中和靜電荷
4.3 靜電消除器的除電原理
4.4 靜電消除器的種類和特點
4.5 靜電消除器的選擇方法及使用注意事項
4.5.1 如何選擇靜電消除器
4.5.2 靜電消除器的使用注意事項
4.6 靜電消除器除電性能評估方法
4.6.1通過有效除電流進行性能評估
4.6.2 通過靜電消除檢測儀進行性能評估
4.7 無塵室用靜電消除器
4.7.1 無塵室中靜電消除器的問題
4.7.2 護套氣流低發塵靜電消除器（電暈放電型）
4.7.3 離子氣靜電消除器（軟X光照射型）
(1) 液晶盒用離子化氣流式靜電消除器
(2) 腔室型無塵靜電消除器（離子柱）
(3) 靜電防護層流出口（離子立方體）
4.7.4 防爆無塵靜電消除器（軟X光照射型）
4.7.5 靜電防護實例
 
■主講人
日本Techno（株）退役專家，退役前職位（首席研究員），也是（無塵室靜電對策）多本書籍作者。
 
            ■地點規劃：
            ✓台北會議室
            ✓台南會議室
            ✓線上視訊

活動辦法
■優惠方案
政府補助，學員自付6,615元、6,090元、5,565元/1、2、3人
※參加線上視訊，限【2位以上】團報。
※額外加價525元，升級彩色版講義。
※請於開課日期【前7天完成繳費】，中國信託銀行(822)城北分行 657-540116548三建資訊有限公司※
 
團報表請來信索取，洽詢02-25364647張竟研小姐（sumken@sum-ken.com）

 

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